下载一种多晶硅熔炉专用热电偶的技术资料

文档序号:43761008

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本技术公开一种多晶硅熔炉专用热电偶,其包括测温线及保护管,所述测温线包括至少一组热电极芯线,每组热电极芯线均包括位于保护管内部的测温段,及延伸至保护管外部的外引段,每个所述测温段的端部具有测温端点,每个所述外引段的端部连接有外接元件;测温段...
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