【技术实现步骤摘要】
本技术属于热电偶，具体涉及一种多晶硅熔炉专用热电偶。
技术介绍
1、多晶硅熔炉是一种制备多晶硅的设备，其是在高温下将硅材料加热至熔点，使其形成液态硅，再在液态硅中加入晶体，在晶体作用下，液相硅通过晶化反应逐渐凝固成为多晶硅，因此在多晶硅生产过程中，需要对多晶硅熔炉内的温度进行监测，目前多采用热电偶对多晶硅熔炉内的温度进行监测，为避免热电偶的核心部分热电极受到化学腐蚀和机械损伤，热电极外多套装有保护管，但是，现有的热电偶保护管多为不锈钢材质，当上述热电偶对多晶硅熔炉内的温度进行监测时，在高温环境下，不锈钢保护管内的杂质容易析出对多晶硅生产环境造成污染，降低多晶硅的纯度，影响多晶硅的品质。
技术实现思路
1、本技术针对现有技术中热电偶在对多晶硅熔炉进行温度监测时不锈钢保护管在高温环境下会有杂质析出，影响多晶硅纯度的问题，提供一种多晶硅熔炉专用热电偶。
2、本技术的专利技术目的是通过以下技术方案实现的：
3、一种多晶硅熔炉专用热电偶，其包括测温线及保护管，所述测温线包括至...
【技术保护点】
1.一种多晶硅熔炉专用热电偶，包括测温线及保护管，其特征在于，所述测温线包括至少一组热电极芯线，每组热电极芯线均包括位于保护管内部的测温段，及延伸至保护管外部的外引段，每个所述测温段的端部均具有测温端点，每个所述外引段的端部均连接有外接元件；测温段与外引段的衔接位套装有卡套，所述卡套固接在保护管的上端；所述保护管包括位于最外层的防蚀层，所述防蚀层为石英管。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅熔炉专用热电偶，其特征在于，所述保护管为多层结构，其还包括位于防蚀层内部的加强层。
3.根据权利要求2所述的一种多晶硅熔炉专用热电偶，其特征在于，所述加强层...
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅熔炉专用热电偶，包括测温线及保护管，其特征在于，所述测温线包括至少一组热电极芯线，每组热电极芯线均包括位于保护管内部的测温段，及延伸至保护管外部的外引段，每个所述测温段的端部均具有测温端点，每个所述外引段的端部均连接有外接元件；测温段与外引段的衔接位套装有卡套，所述卡套固接在保护管的上端；所述保护管包括位于最外层的防蚀层，所述防蚀层为石英管。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅熔炉专用热电偶，其特征在于，所述保护管为多层结构，其还包括位于防蚀层内部的加强层。
3.根据权利要求2所述的一种多晶硅熔炉专用热电偶，其特征在于，所述加强层为石英管或不锈钢管。
4.根据权利要求1-3任一项所述的一种多晶硅熔炉专用热电偶，其特征在于，所述测温线包括三组热电极芯线，分别为第一芯线、第二芯线及第三芯线，三组芯线绝缘分隔。
5.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：程译锋，
申请(专利权)人：浙江神威电气有限公司，
类型：新型
国别省市：
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