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本发明提供能够减少翅片构件的损伤的等离子体处理装置。等离子体处理装置具备内侧电极、电极保持体、外侧电极、将内侧电极及电极保持体包围的绝缘构件、用于通过使供给到绝缘构件的内侧的处理气体回转从而形成绕内侧电极的回转流的翅片构件以及吹出等离子体化...
该专利属于株式会社达谊恒所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社达谊恒授权不得商用。

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