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本发明公开了一种晶圆溢胶修边设备和方法，包括旋转吸附装置、刀具装置、移动装置和定位装置；旋转吸附装置包括用于吸附并带动晶圆旋转的晶圆载台；刀具装置安装于移动装置上，移动装置位于旋转吸附装置的外周，该移动装置用于带动刀具装置靠近或远离晶圆载台...
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