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本申请公开了基于MEMS的相位空间光调制架构。所描述的示例包括在衬底上具有驱动电极506的装置。该装置具有悬置在驱动电极上方并导电地耦合到平台电极512的平台504，其中平台被配置为响应于施加在驱动电极和平台电极之间的电压差而在垂直于衬底表...
该专利属于德克萨斯仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德克萨斯仪器股份有限公司授权不得商用。

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