基于MEMS的相位空间光调制架构制造技术

技术编号:43746261 阅读:24 留言:0更新日期:2024-12-20 13:05
本申请公开了基于MEMS的相位空间光调制架构。所描述的示例包括在衬底上具有驱动电极506的装置。该装置具有悬置在驱动电极上方并导电地耦合到平台电极512的平台504,其中平台被配置为响应于施加在驱动电极和平台电极之间的电压差而在垂直于衬底表面的方向上移动。该装置在平台上还具有镜柱508。该装置具有通过镜柱508耦合到平台的反射镜510,其中反射镜是矩形的。

【技术实现步骤摘要】

本公开总体上涉及光调制,并且更具体地涉及相位空间光调制的示例。


技术介绍

1、全息投影使用从相位空间光调制器反射的相干光源的各部分之间的干涉将图像投影到指定距离或“远场”或夫琅和费区(fraunhofer region)。相位空间光调制是一种光调制形式,其中每个像元的反射相位确定反射光相对于从相位空间光调制器(pslm)的其他像元反射的其他光的相位。因此,如果pslm将一个像元偏移四分之一波长,则从第一个像元反射的光与从第二个未偏移像元反射的光异相四分之一波长。来自第一像元和第二像元的光然后以引导组合光的可控方式干涉。

2、pslm可能具有数千或数百万个可控像元。pslm可以基于由不同相位的像元引导的反射相干光的干涉来投影图像。相比之下,传统的振幅空间光调制器(slm)反射或不反射选定的像元以创建投影的图像。此pslm投影的图像具有若干用途。它可以扫描场景以用于按方向改变图像的光检测和测距(lidar)系统,以帮助检测场景中的物体。在其他用途中,用户直接查看图像,例如使用投影到汽车的挡风玻璃上的平视显示器。

3、在lidar方面,p本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种装置,其包括:

2.根据权利要求1所述的装置,其还包括:

3.根据权利要求2所述的装置,其中所述相对侧平行于所述两个平台柱之间的线。

4.根据权利要求2所述的装置,其中所述至少两个柔性铰链和所述平台邻接。

5.根据权利要求1所述的装置,其中所述反射镜在第一维度上比在第二维度上长,其中所述第一维度和所述第二维度是垂直的。

6.根据权利要求1所述的装置,其中所述驱动电极是两个或更多个电极。

7.根据权利要求6所述的装置,其中所述两个或更多个电极是可单独寻址的。

8.根据权利要求1所述的装置,其中所述镜...

【技术特征摘要】

1.一种装置,其包括:

2.根据权利要求1所述的装置,其还包括:

3.根据权利要求2所述的装置,其中所述相对侧平行于所述两个平台柱之间的线。

4.根据权利要求2所述的装置,其中所述至少两个柔性铰链和所述平台邻接。

5.根据权利要求1所述的装置,其中所述反射镜在第一维度上比在第二维度上长,其中所述第一维度和所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员:J·霍尔T·A·巴利特利W·C·麦克唐纳
申请(专利权)人:德克萨斯仪器股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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