温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种半导体传送腔顶盖翻启装置，包括：齿轮盒、驱动组件、安装在齿轮盒内部的三级传动组件以及对称安装在齿轮盒两侧的翻转臂，所述翻转臂用于连接顶盖；所述三级传动组件的输入端与齿轮盒顶部的驱动组件转动连接，三级传动组件的输出端与翻转臂转...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。