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本申请涉及一种夹持载具、检测设备和夹持方法。夹持载具用于夹持晶圆，其包括至少两个间隔设置的夹持结构，夹持结构包括接触模块和控制模块；其中，控制模块用于控制接触模块向靠近晶圆的方向移动，以使接触模块与晶圆的侧面贴合，并夹持晶圆；控制模块还用于...
该专利属于深圳市鹏新旭技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市鹏新旭技术有限公司授权不得商用。

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