下载MIM电容器及其制造方法的技术资料

文档序号:43730233

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本发明提供一种MIM 电容器及其制造方法,其下极板与下层金属互连线采用同一层金属层形成,有利于降低芯片的厚度,而且还能利用下极板的立体结构图案中的若干凹陷部和若干凸起部,使MIM 电容器在所述立体结构图案处呈折叠结构,由此与常规的平面MIM...
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