温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于激光光学技术领域，本发明的提供了一种立方相稀土掺杂氧化铪薄膜及其制备方法与用途，所述制备方法采用特定的氧化铪陶瓷靶与稀土靶进行搭配，进行双靶磁控溅射，得到立方相稀土掺杂氧化铪薄膜。通过特定的制备方法获得的稀土掺杂氧化铪薄膜相比于单...
该专利属于中国科学院赣江创新研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院赣江创新研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。