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本技术公开了一种HJT电池薄膜制备用化学气相沉积设备，涉及化学气相沉积技术领域，具体为一种HJT电池薄膜制备用化学气相沉积设备，包括反应腔室、安装在反应腔室顶部的喷头、安装在反应腔室底部的支撑座，所述反应腔室内腔的底部安装有高度调节机构，所...
该专利属于合肥智杰精密设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥智杰精密设备有限公司授权不得商用。

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