下载一种超高品质因子的微环芯腔及其制备方法与应用的技术资料

文档序号:43708562

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本发明提供一种超高品质因子的微环芯腔及其制备方法与应用,所述微环芯腔包括圆形微盘、设置于所述圆形微盘外缘一周的实心圆环,以及支撑所述圆形微盘的底座;所述圆形微盘和实心圆环的材质为氧化硅,所述底座的材质为硅;所述实心圆环的环状外径为3‑6mm...
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