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本发明涉及碳化硅粉制造技术领域，具体涉及一种高纯碳化硅粉料的合成方法，包括：S1、将石墨纸或碳纤维布粘贴在电阻加热材料和/或沉积腔室内壁上，将电阻加热材料连接在电极上；S2、将沉积腔室内的压力调节至真空状态或者置换为氩气气氛，将温度加热到9...
该专利属于苏州清研半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州清研半导体科技有限公司授权不得商用。

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