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本技术提供了一种集成电路制造的电镀槽结构，其属于集成电路制造领域，其包括：能够实现电镀箱内电镀液循环流动混合的多功能循环组件；所述多功能循环组件包括能够拆卸安装在电镀箱内的导流筒，所述导流筒内设有共轴且被驱动转动的转动杆，所述转动杆的上端固...
该专利属于重庆安美科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆安美科技有限公司授权不得商用。

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