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一种降低单晶炉首投断线频次的方法技术
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文档序号:43699690
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本发明提供了一种降低单晶炉首投断线频次的方法,涉及单晶硅生产领域。该降低单晶炉首投断线频次的方法包括以下步骤:S10.开启副泵,并连通所述副泵和单晶炉的副室进行抽真空操作;S20.待炉体内部压力达到第一设定炉压P1后,切断所述副泵和所述副室...
该专利属于四川永祥光伏科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川永祥光伏科技有限公司授权不得商用。
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