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本发明提供了一种小片光伏电池的生产工艺。本发明还提供了一种用于硅片钝化膜沉积和丝网印刷的一体化生产系统。本发明在丝网印刷前,先使用激光无损切割将完整硅片半成品切割成多片小片硅片,再同时使用一链式钝化膜沉积设备,安装在丝网印刷前形成集成设备,...该专利属于江苏微导纳米科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏微导纳米科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种小片光伏电池的生产工艺。本发明还提供了一种用于硅片钝化膜沉积和丝网印刷的一体化生产系统。本发明在丝网印刷前,先使用激光无损切割将完整硅片半成品切割成多片小片硅片,再同时使用一链式钝化膜沉积设备,安装在丝网印刷前形成集成设备,...