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本发明涉及半导体器件技术领域,具体涉及一种功率器件。本发明的功率器件包括:栅极区,位于阱区之中;栅氧化层,全包围栅极区;沟槽区,包围栅氧化层的至少部分底部和部分侧部;沟槽区的顶部和侧部被阱区包围,且阱区自沟槽区的侧部底角边向沟槽区底面中心延...该专利属于清纯半导体(宁波)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过清纯半导体(宁波)有限公司授权不得商用。
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本发明涉及半导体器件技术领域,具体涉及一种功率器件。本发明的功率器件包括:栅极区,位于阱区之中;栅氧化层,全包围栅极区;沟槽区,包围栅氧化层的至少部分底部和部分侧部;沟槽区的顶部和侧部被阱区包围,且阱区自沟槽区的侧部底角边向沟槽区底面中心延...