下载一种晶圆存储柜的技术资料

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本技术公开了一种晶圆存储柜,柜体的顶部设置有与其内部左端相连通的取放台,取放台的内侧顶部滑动安装有顶盖,柜体的内部前后两侧分别等距离竖直阵列设置有若干组第二滑轨,第二滑轨之间分别滑动安装有存放板,存放板的上表面中部分别固定安装有支撑块,存放...
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