一种晶圆存储柜制造技术

本技术公开了一种晶圆存储柜，柜体的顶部设置有与其内部左端相连通的取放台，取放台的内侧顶部滑动安装有顶盖，柜体的内部前后两侧分别等距离竖直阵列设置有若干组第二滑轨，第二滑轨之间分别滑动安装有存放板，存放板的上表面中部分别固定安装有支撑块，存放板右前方的前后两端分别设置有第二电动伸缩杆，该晶圆存储柜，采用了自动化的存储和取出机制，极大地提高了晶圆存储的效率和便捷性，同时该晶圆存储柜，能够有效地维持一个高纯度的氮气环境，为晶圆提供了最佳的存储条件，通过精确控制氮气的进入和排出，以及实时监测存储仓内的氮气浓度，确保了晶圆不受外部环境的影响，从而延长了晶圆的使用寿命和性能稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆存储，具体为一种晶圆存储柜。

技术介绍

1、在半导体制造领域，晶圆作为关键材料，其质量和稳定性对于整个生产流程具有至关重要的作用，然而，晶圆对外部环境中的氧气和水分极为敏感，轻微的污染都可能导致其性能下降或损坏，因此，在晶圆的存储过程中，必须营造一个低氧、低湿的环境，以确保晶圆的质量和稳定性；

2、为了维持这样的环境，行业内通常采用氮气冲洗或氮气氛围的方式来保护晶圆，氮气的纯度通常要求不低于99.99％，以确保其对晶圆的有效保护作用，然而，现有的晶圆存储柜在设计和操作上存在诸多不足，如柜体内部的氮气容易泄漏，导致存储环境不稳定；氮气供应与排放系统不能精确控制，使得存储仓内的氮气浓度难以维持在一个恒定的水平；此外，晶圆在取放过程中也容易受到外部环境的污染，因此，我们提出了一种晶圆存储柜。

技术实现思路

1、鉴于现有技术中所存在的问题，本技术公开了一种晶圆存储柜，采用的技术方案是，包括柜体，所述柜体的顶部设置有与其内部左端相连通的取放台，所述取放台的内侧顶部滑动安装有顶盖，所述柜体的内部本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆存储柜，包括柜体(1)，其特征在于，所述柜体(1)的顶部设置有与其内部左端相连通的取放台(2)，所述取放台(2)的内侧顶部滑动安装有顶盖(4)，所述柜体(1)的内部前后两侧分别等距离竖直阵列设置有若干组第二滑轨(13)，所述第二滑轨(13)之间分别滑动安装有存放板(10)，所述存放板(10)的上表面中部分别固定安装有支撑块(12)，所述存放板(10)右前方的前后两端分别设置有第二电动伸缩杆(11)，所述第二电动伸缩杆(11)的分别固定安装在柜体(1)的内部右侧，所述第二电动伸缩杆(11)的伸缩端分别与存放板(10)前后两端设置的凹槽左端固定连接，所述存放板(10)分别位于柜体...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆存储柜，包括柜体(1)，其特征在于，所述柜体(1)的顶部设置有与其内部左端相连通的取放台(2)，所述取放台(2)的内侧顶部滑动安装有顶盖(4)，所述柜体(1)的内部前后两侧分别等距离竖直阵列设置有若干组第二滑轨(13)，所述第二滑轨(13)之间分别滑动安装有存放板(10)，所述存放板(10)的上表面中部分别固定安装有支撑块(12)，所述存放板(10)右前方的前后两端分别设置有第二电动伸缩杆(11)，所述第二电动伸缩杆(11)的分别固定安装在柜体(1)的内部右侧，所述第二电动伸缩杆(11)的伸缩端分别与存放板(10)前后两端设置的凹槽左端固定连接，所述存放板(10)分别位于柜体(1)内部右端等距离设置的存储仓(6)内，所述存储仓(6)的右端分别与柜体(1)外部右端设置的进气组件(7)连通，所述存储仓(6)的后端分别与柜体(1)外部后端设置的排气组件(8)连通，所述存储仓(6)的左端设置有密封道闸组件(9)，所述柜体(1)的内部左端设置有取放单元(5)，所述取放单元(5)由电机(51)、螺纹杆(52)、第一滑轨(53)、升降架(54)和取放叉板(55)，所述电机(51)固定安装在柜体(1)的内侧底部左端，所述电机(51)的输出轴端部固定安装有螺纹杆(52)，所述螺纹杆(52)的顶部通过轴承与柜体(1)的内部顶部转动连接，所述螺纹杆(52)上螺纹安装有升降架(54)，所述升降架(54)为“l”形结构，所述升降架(54)的左端与柜体(1)内部左侧设置的第一滑轨(53)滑动连接，所述升降架(54)的顶部前后两端分别固定安装有取放叉板(55)，且取放叉板(55)位于取放台(2)与柜体(1)左端相连通的槽口正下方。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆存储柜，其特征在于：所述进气组件(7)由进气管(71)、分流管(72)、第一电磁阀(73)和第一连接管(74)组成，所述进气管(71)设置在柜体(1)的底部，所述进气管(71)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈泰源，王栋，
申请(专利权)人：上海摩瑆半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：