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本技术公开了一种钙钛矿薄膜的厚度检测装置及其加工设备，厚度检测装置包括：光源模块和接收模块，光源模块和接收模块分别位于钙钛矿薄膜的厚度方向的两侧，光源模块具有朝向钙钛矿薄膜出射的第一光线，第一光线透过钙钛矿薄膜形成第二光线，第一光线具有第一...
该专利属于昆山协鑫光电材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山协鑫光电材料有限公司授权不得商用。

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