钙钛矿薄膜的厚度检测装置及其加工设备制造方法及图纸

技术编号:43686809 阅读:21 留言:0更新日期:2024-12-18 21:06
本技术公开了一种钙钛矿薄膜的厚度检测装置及其加工设备,厚度检测装置包括:光源模块和接收模块,光源模块和接收模块分别位于钙钛矿薄膜的厚度方向的两侧,光源模块具有朝向钙钛矿薄膜出射的第一光线,第一光线透过钙钛矿薄膜形成第二光线,第一光线具有第一光强,第二光线具有第二光强,第一光强大于第二光强,接收模块用于接收第二光强的第二光线,以判断钙钛矿薄膜的厚度,其中,在钙钛矿薄膜的宽度方向上,光源模块的发射区域和接收模块的接收区域中的至少一个的位置可调。根据本技术的厚度检测装置,不仅能够对具有大面积特性的钙钛矿太阳能电池的钙钛矿膜层的厚度进行较好地检测,还能在物流轨道上进行在线式检测。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光伏,尤其是涉及一种钙钛矿薄膜的厚度检测装置及其加工设备


技术介绍

1、钙钛矿太阳能电池由于工艺简单、制造成本低廉、光电转化效率高,被广泛地认为是下一代的光伏技术。并且,相较于目前主流的商业硅电池需要将一块块电池片进行拼装,钙钛矿太阳能电池具有可以直接大面积制备的优势。但是,对于具有大面积特性的钙钛矿太阳能电池,其钙钛矿膜层厚度的均匀性检测手段的匮乏,是目前限制钙钛矿产业化发展的重要桎梏。而且,目前绝大部分的厚度检测设备都很难集成到物流轨道上进行在线式检测,少数兼容在线式设备检测模块和光源模块也是集成一体只能针对同一大小尺寸的样品、薄膜进行检测,这些仪器设备具体实施起来十分困难和复杂,更无法满足多尺寸定制化的需求。


技术实现思路

1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本技术的一个目的在于提出一种钙钛矿薄膜的厚度检测装置,钙钛矿薄膜的厚度检测装置,不仅能够对具有大面积特性的钙钛矿太阳能电池的钙钛矿膜层的厚度进行较好地检测,还能在物流轨道上进行在线式检测。>

2、根据本技本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种钙钛矿薄膜的厚度检测装置,其特征在于,所述厚度检测装置包括:

2.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜的厚度检测装置,其特征在于,所述接收模块包括接收所述第二光线的接收单元,所述接收单元设置有多个,多个所述接收单元沿所述钙钛矿薄膜的宽度方向设置,多个所述接收单元均适于沿所述钙钛矿薄膜的宽度方向活动。

3.根据权利要求2所述的钙钛矿薄膜的厚度检测装置,其特征在于,所述接收模块还包括:滑动组件,所述滑动组件包括:

4.根据权利要求3所述的钙钛矿薄膜的厚度检测装置,其特征在于,所述接收模块还包括:驱动组件,所述驱动组件与多个的所述滑块传动连接。

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【技术特征摘要】

1.一种钙钛矿薄膜的厚度检测装置,其特征在于,所述厚度检测装置包括:

2.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜的厚度检测装置,其特征在于,所述接收模块包括接收所述第二光线的接收单元,所述接收单元设置有多个,多个所述接收单元沿所述钙钛矿薄膜的宽度方向设置,多个所述接收单元均适于沿所述钙钛矿薄膜的宽度方向活动。

3.根据权利要求2所述的钙钛矿薄膜的厚度检测装置,其特征在于,所述接收模块还包括:滑动组件,所述滑动组件包括:

4.根据权利要求3所述的钙钛矿薄膜的厚度检测装置,其特征在于,所述接收模块还包括:驱动组件,所述驱动组件与多个的所述滑块传动连接。

5.根据权利要求2所述的钙钛矿薄膜的厚度检测装置,其特征在于,所述光源模块包括多个光源单元,多个所述光源单元沿所述钙钛矿薄膜的宽度方向设置,每个所述光源单元与至少一个的所述接收单元对应。

6.根据权利要求5所述的钙钛矿薄膜的厚度检测装置,其特征在于,所述光源模块由多个所述光源...

【专利技术属性】
技术研发人员:请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名
申请(专利权)人:昆山协鑫光电材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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