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本发明公开了一种双面卷对卷激光直写光刻机，属于光刻机设备领域。一种双面卷对卷激光直写光刻机，包括曝光平台，所述曝光平台的两侧分别设置有出料平台和收料平台，所述出料平台和收料平台上均设置有收放组件，所述出料平台和收料平台上均设置有对卷材张紧调...
该专利属于苏州建高远微电子设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州建高远微电子设备科技有限公司授权不得商用。

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