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本发明公开了一种半导体器件及其制备方法,应用于半导体器件技术领域,包括:衬底;位于衬底一侧表面的功能层;功能层形成有至少一个主晶体管和至少一个辅助晶体管;主晶体管的源端与辅助晶体管的漏端连接;辅助晶体管的源端接地,辅助晶体管的栅端空置或接地...该专利属于睿思微系统(烟台)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过睿思微系统(烟台)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种半导体器件及其制备方法,应用于半导体器件技术领域,包括:衬底;位于衬底一侧表面的功能层;功能层形成有至少一个主晶体管和至少一个辅助晶体管;主晶体管的源端与辅助晶体管的漏端连接;辅助晶体管的源端接地,辅助晶体管的栅端空置或接地...