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一种紧凑型四光束干涉仪、制造方法及测量方法技术
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文档序号:43669124
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本申请属于物体空间姿态测量技术领域,具体公开了一种紧凑型四光束干涉仪、制造方法及测量方法,该干涉仪包括:玻璃底座、位于同一探测平面的四个光电探测器以及沿第一方向依次设置的两个光纤准直器、侧向位移分光棱镜、消偏振分光棱镜和平面反射镜,第一方向...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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