【技术实现步骤摘要】
本申请属于物体空间姿态测量，更具体地，涉及一种紧凑型四光束干涉仪、制造方法及测量方法。
技术介绍
1、一个物体的空间姿态由6个自由度确定，其中位置状态由3个线性量确定，姿态由3个角度量确定。随着现代科学技术的不断发展，航空航天、机械加工与装配等诸多领域对同时获取多自由度的空间姿态参数提出了迫切的要求。激光干涉测量是实现大范围高精度长度测量的最有效方法之一，同时高精度激光干涉仪是前沿科学研究和先进制造业中超精密测量的一个重要工具，例如在引力波探测、惯性传感、数控机床和光刻机制造等领域有着巨大的需求。
2、对于激光干涉技术和应用而言，影响其测量精度提升的主要瓶颈为激光干涉测量的方法原理、干涉光源、干涉光学元件、干涉信号处理卡等关键单元的特性以及实际测量环境的稳定性。如何通过激光干涉方式稳定且精准地测量物体的多个自由度是本领域亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、针对现有技术的缺陷，本申请的目的在于通过激光干涉方式稳定且精准地测量物体的多个自由度。
2、为实现上述目的，...
【技术保护点】
1.一种紧凑型四光束干涉仪，其特征在于，包括：玻璃底座、位于同一探测平面的四个光电探测器以及沿第一方向依次设置的两个光纤准直器、侧向位移分光棱镜、消偏振分光棱镜和平面反射镜，所述第一方向垂直于所述探测平面；
2.根据权利要求1所述紧凑型四光束干涉仪，其特征在于，所述光纤准直器的尾纤采用保偏光纤。
3.根据权利要求1所述紧凑型四光束干涉仪，其特征在于，所述光纤准直器通过玻璃安装座固定于玻璃底座上，所述光纤准直器放置于所述玻璃安装座的中心穿孔位置。
4.根据权利要求1-3任一所述紧凑型四光束干涉仪，其特征在于，所述玻璃底座上的部件采用紫
<...【技术特征摘要】
1.一种紧凑型四光束干涉仪，其特征在于，包括：玻璃底座、位于同一探测平面的四个光电探测器以及沿第一方向依次设置的两个光纤准直器、侧向位移分光棱镜、消偏振分光棱镜和平面反射镜，所述第一方向垂直于所述探测平面；
2.根据权利要求1所述紧凑型四光束干涉仪，其特征在于，所述光纤准直器的尾纤采用保偏光纤。
3.根据权利要求1所述紧凑型四光束干涉仪，其特征在于，所述光纤准直器通过玻璃安装座固定于玻璃底座上，所述光纤准直器放置于所述玻璃安装座的中心穿孔位置。
4.根据权利要求1-3任一所述紧凑型四光束干涉仪，其特征在于，所述玻璃底座上的部件采用紫外胶固化。
5.一种紧凑型四光束干涉仪的制造方法，其特征在于，包括：
6.根据权利要求5所述紧凑型四光束干涉仪的制造方法，其特征在于，所述玻璃底座上的部件采用紫外胶固化。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：颜浩，林响，邱鹏，梁浴榕，周泽兵，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：
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