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本发明公开了一种能够提高氯硅烷汽化过程中氢气与氯硅烷比例控制精度的氯硅烷汽化混合工艺及装置。所述氯硅烷汽化混合装置包括换热器，氯硅烷输送管、氢气输送管与该换热器的管程／壳程连通，氯硅烷输送管、氢气输送管上均各设置有流量计和流量调节阀，相应地...
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