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本技术公开了一种托盘的旋转支撑结构，包括：旋转轴；多个支撑臂，其呈散射状分布在所述旋转轴的侧壁上，每个所述支撑臂包括第一端和第二端，所述第一端与所述旋转轴连接，所述第二端沿所述旋转轴向外延伸；多个调节柱，所述调节柱具有不同高度，每个所述支撑...
该专利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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