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本申请提出了一种光电二极管的制备方法和光电二极管,该方法包括:将P欧姆接触层刻蚀为P欧姆接触块;在当前表层生长扩散阻挡膜;在扩散窗口层形成扩散孔;执行Zn扩散处理,使第一区域形成高掺杂P+‑INP的扩散区;在当前表层生长抗反射膜;对P欧姆接...该专利属于武汉敏芯半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉敏芯半导体股份有限公司授权不得商用。
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