温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

公开了包括加热部件和光化辐射源的系统以及使用系统的方法。一种系统可以包括：加热部件，用于加热基板上方的可光固化的组合物；光化辐射源，被配置为发射波长小于700nm的光化辐射；和控制器，被配置为确定当可光固化的组合物被光化辐射源曝光时要由第一...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。