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在一实施例中，本公开涉及一种用于控制输送到分布式电极的微波功率以改善分布式电极上电场的均匀性的系统。该系统包括RF源电路，该RF源电路包括至少一个RF发生器和多个RF源电路输出，每个RF源电路输出输出具有至少300MHz频率的RF源信号。对...
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