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本技术公开了一种蒸发源及蒸镀装置，该蒸发源包括：材料加热汽化室，用于承载镀膜材料；蒸发匀气室，所述蒸发匀气室包括匀气分散板和喷嘴，蒸汽导管，用于连通材料加热汽化室和蒸发匀气室；其中，所述喷嘴朝向待蒸镀的基板，且所述蒸发匀气室位于所述基板的上...
该专利属于北京曜能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京曜能科技有限公司授权不得商用。

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