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本发明提供一种在基板的冷却过程中，能够防止颗粒产生以及基板的损坏的热处理装置、热处理方法以及基板处理设备。根据本发明的实施例的热处理装置包括：腔室，在内部具有处理空间；多个卡盘销，在下方支承基板，并构成为独立上升或者下降；加热器，向所述处理...
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