下载一种电子晶片生产用的刻蚀机械的技术资料

文档序号:43655151

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本发明公开了一种电子晶片生产用的刻蚀机械,涉及到刻蚀技术领域,包括刻蚀箱、用于限位电子晶片的限位部件,所述限位部件上安装有连接部件,所述刻蚀箱上安装有与所述连接部件连接的驱动部件,所述驱动部件用于通过所述连接部件驱动所述限位部件运动,使所述...
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