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本技术公开了一种晶圆清洗夹具，其特征在于，包括两根固定杆、一根活动杆、弹簧、螺栓和握把；所述活动杆与所述握把的下端通过销轴连接；所述握把的上端通过弹簧和所述活动杆的上端连接；两所述固定杆的底部分别与所述握把的底部连接固定，两所述固定杆与所述...
该专利属于中国科学院高能物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院高能物理研究所授权不得商用。

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