【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体制造领域，涉及一种晶圆清洗夹具。
技术介绍
1、半导体制造是一个复杂的过程，清洗其是主要的一项工艺。半导清洗的清洗主要有超声清洗和溶液清洗。目前溶液清洗最为常用；溶液清洗就是利用酸或碱溶液去除晶圆表面金属氧化物和有机物。在使用溶液清洗时需将硅片放入溶液中震荡，此过程需要使用到清洗夹具。
2、目前市面上已有一些清洗夹具，但是在使用中存在一些主要问题，如晶圆清洗篮当硅片放入晶圆清洗篮浸入液体时，硅片受到浮力作用就无法与清洗篮保持相对固定。在震荡过程中就可能完全不受清洗篮的控制，可能从清洗篮掉出。另一种则是三爪夹具，原理是利用其中一根的弹性变形对硅片产生加紧力。多次使用由弹性变形变为塑性变形无法继续产生足够大的抓力，夹具则无法继续使用。
3、因此目前急需一种夹持稳定、可多次重复使用的清洗夹具。
技术实现思路
1、针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种晶圆清洗夹具，能够保持夹持稳定且可多次重复使用。
2、本申请的技术方案为：
<...【技术保护点】
1.一种晶圆清洗夹具，其特征在于，包括两根固定杆、一根活动杆、弹簧、螺栓和握把；
2.根据权利要求1所述的晶圆清洗夹具，其特征在于，所述握把为一长矩形结构，中间设有矩形孔洞；所述活动杆通过所述矩形孔洞穿过所述握把后，与所述握把的下端通过销轴连接。
3.根据权利要求2所述的晶圆清洗夹具，其特征在于，所述握把的底部设有半圆弧槽，用于方便所述活动杆的运动。
4.根据权利要求1或2或3所述的晶圆清洗夹具，其特征在于，两所述固定杆与所述活动杆作为对待夹持的晶圆的三个支杆；三个支杆之间的夹角相同，所述固定杆、所述活动杆的下端设有凹槽，用于方便夹
【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗夹具，其特征在于，包括两根固定杆、一根活动杆、弹簧、螺栓和握把；
2.根据权利要求1所述的晶圆清洗夹具，其特征在于，所述握把为一长矩形结构，中间设有矩形孔洞；所述活动杆通过所述矩形孔洞穿过所述握把后，与所述握把的下端通过销轴连接。
3.根据权利要求2所述的晶圆清洗夹具，其特征在于，所述握把的底部设有半圆弧槽，用于方便所述活动杆的运动。
4.根据权利要求1或2或3所述的晶圆清洗夹具，其特征在于，两所述固定杆与所述活动杆作为对待夹持的晶圆的三个支杆；三个支...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡健荣，张爱梅，高鹤，
申请(专利权)人：中国科学院高能物理研究所，
类型：新型
国别省市：
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