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半导体装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:43637610
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半导体装置的制造方法包括:准备第1半导体基板的工序;准备第2半导体基板的工序;将第2半导体基板单片化,获取多个半导体芯片的工序;及将第1半导体基板及半导体芯片加热及加压,使第1有机绝缘膜与半导体芯片的绝缘膜部分相互接合,并且使第1电极与第2...
该专利属于株式会社力森诺科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社力森诺科授权不得商用。
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