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本发明公开一种低温等离子体混合诊断设备及方法，属于半导体设备技术领域，其中低温等离子体混合诊断设备包括有朗缪尔探针和光谱仪探头，朗缪尔探针伸入半导体制造设备腔体内，光谱仪探头紧贴于半导体制造设备腔体的观察窗外；朗缪尔探针和光谱仪探头均与信号...
该专利属于盛吉盛半导体科技（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛吉盛半导体科技（北京）有限公司授权不得商用。

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