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本发明公开了一种分离电子级四甲基硅烷的方法及应用，其中方法包括：获取经过脱氢脱重后的原料气粗产品；原料气粗产品依次通过极性吸附部分和体积吸附部分进行吸附纯化，极性吸附部分至少包括极性吸附剂，体积吸附部分至少包括多孔吸附剂，极性吸附剂选择对2...
该专利属于金宏气体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过金宏气体股份有限公司授权不得商用。

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