下载一种双指5-DOF压电微夹持器及其驱动方法的技术资料

文档序号:43632123

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种双指5-DOF压电微夹持器及其驱动方法,属于微纳米操作技术领域,尤其涉及一种双指5-DOF压电微夹持器及其驱动方法;解决了现有压电式微夹持器所存在的无法在兼顾大行程和高精度的情况下,实现多自由度(大于3自由度)的操作,进而无法满足灵活操...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。