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本发明提供了一种半导体器件的形成方法,包括:提供半导体基底,包括若干顶层金属层,位于相邻顶层金属线之间的切割道;在顶层金属层边缘形成辅助金属层;在顶层金属层和辅助金属层的表面均形成钝化层,钝化层同时覆盖辅助金属层的侧壁和切割道的表面;在顶层...该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种半导体器件的形成方法,包括:提供半导体基底,包括若干顶层金属层,位于相邻顶层金属线之间的切割道;在顶层金属层边缘形成辅助金属层;在顶层金属层和辅助金属层的表面均形成钝化层,钝化层同时覆盖辅助金属层的侧壁和切割道的表面;在顶层...