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本发明涉及太赫兹技术领域，尤其是提供了一种基于石墨烯的橄榄球型太赫兹生化传感器及其制备方法。该太赫兹生化传感器包括石英基底层；下介质层，设置于石英基底层的上表面；橄榄球型金属谐振层，利用磁控溅射技术设置于下介质层的上表面；上介质层，设置于橄...
该专利属于齐鲁工业大学（山东省科学院）所有，仅供学习研究参考，未经过齐鲁工业大学（山东省科学院）授权不得商用。

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