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本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种离子溅镀装置，该装置包括一腔体，所述腔体内部一侧固定设置有至少一个用于安置被电镀物的固定架，其另一侧设有用于加热蒸镀原物质的加热器件，其特征在于：所述被电镀物通过固定架与一闭路直流电源的负极相连，...
该专利属于陈聪茂所有，仅供学习研究参考，未经过陈聪茂授权不得商用。

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