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本发明公开了一种可控的八英寸碳化硅轴向温度梯度的热场装置及其方法，包括密封壳体、感应加热线圈和坩埚组件，所述感应加热线圈和坩埚组件均位于密封壳体内部，所述感应加热线圈包裹在坩埚组件外部；所述密封壳体的顶部设置进气管，所述进气管外接充气泵，所...
该专利属于范国峰所有，仅供学习研究参考，未经过范国峰授权不得商用。

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