下载一种自适应调整载板平面度的方法的技术资料

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本发明涉及载板整平技术领域,具体涉及一种自适应调整载板平面度的方法,包括载板平面度调整装置;通过实时检测驱动电机的电流值以及驱动电机的行走距离。本发明通过在Z方向的压力和X方向的拉伸力上提供自适应调整模式;其中Z方向采用压力恒定模式与压力自...
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