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本申请涉及靶材制备技术领域，提供了一种硅靶材及其制备方法和光学器件。制备方法包括：利用气态硼烷对第一硅粉进行硼扩散处理，得到含有硼和氢的硅复合粉；将含有硼和氢的硅复合粉和第二硅粉进行球磨混合，得到混合粉；将所述混合粉热喷涂到背管上，然后机加...
该专利属于深圳众诚达应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳众诚达应用材料股份有限公司授权不得商用。

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