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本申请涉及芯片测试技术领域，提供一种多探针测试装置及测试系统。多探针测试装置包括基板、安装板和升降组件。安装板设置于基板上，安装板具有圆弧形凹槽和若干安装位，若干安装位沿圆弧形凹槽的周向分布，安装位用于安装探针测试组件；升降组件与基板连接，...
该专利属于深圳市标谱半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市标谱半导体股份有限公司授权不得商用。

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