下载一种α相硒化铟的生长方法及其应用的技术资料

文档序号:43612082

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本发明公开了一种α相硒化铟的生长方法及其应用,该方法包括:使用双温区管式炉,沿气流方向将硒粉和氧化铟粉末分别放置在上游和下游,生长衬底于氧化铟粉末正上方倒置;首先通入惰性气体清洗炉内空气,然后再预热除去杂质,最后再通入还原性气体,在目标温度...
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