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本发明涉及一种适用于晶圆加工设备的模块化清洁设备，包括有设备支架，设备支架设置有底板，晶圆承载装置的两侧镜像分布有摆臂装置，摆臂装置的下端设置有角度调节装置，摆臂装置上设置有清洁装置，承载板位于晶圆承载装置的后侧设置有成对分布的喷洒设备，前...
该专利属于先微精艺（苏州）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先微精艺（苏州）科技有限公司授权不得商用。

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