适用于晶圆加工设备的模块化清洁设备制造技术

本发明专利技术涉及一种适用于晶圆加工设备的模块化清洁设备，包括有设备支架，设备支架设置有底板，晶圆承载装置的两侧镜像分布有摆臂装置，摆臂装置的下端设置有角度调节装置，摆臂装置上设置有清洁装置，承载板位于晶圆承载装置的后侧设置有成对分布的喷洒设备，前挡板与设备支架之间设置有开闭驱动装置，后挡板上设置有若干外连接口，储物区域中设置有控制装置，控制装置分别与角度切换装置、角度调节装置、清洁装置、喷洒设备、开闭驱动装置的被控端相连。由此，通过特有的晶圆承载装置，可以满足6寸晶圆、8寸晶圆的兼容放置，无须根据晶圆来替换安装承载装置，降低了实施的难度，无须进行停机替换。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种清洁设备，尤其涉及一种适用于晶圆加工设备的模块化清洁设备。

技术介绍

1、对于现有的晶圆加工来看，为了满足后续加工的需要，会对晶圆进行清洁加工。需要配置清洁设备。但是，现有的清洁设备是独立成组配置的，会占用厂区较多的空间。为此，现有逐步趋向于对晶圆加工进行模块化的设备配置，实现各个加工步骤的协调，对空间进行整合。

2、但是，现有的清洁设备只是简单的对晶圆进行表面的清洁与擦拭，容易存在清洁死角。同时，其内部装置的分布占用了较大的工位空间，不能适应模块化的集成式配置。再者，现有的清洁设备采用吊顶式的喷淋方式，且只能适应单一的晶圆尺寸，在需要进行不同晶圆尺寸切换的时候，需要进行停机零部件更换。

3、有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种适用于晶圆加工设备的模块化清洁设备，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本专利技术的目的是提供一种适用于晶圆加工设备的模块化清洁设备。

2、本专利技术的适用于晶圆加工设备的模块化本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.适用于晶圆加工设备的模块化清洁设备，包括有设备支架，所述设备支架设置有底板，所述设备支架上设置有承载板，所述承载板的下方构成储物区域，所述承载板的上构成加工区域，其特征在于：所述储物区域中设置有角度切换装置，所述角度切换装置的上端设置有晶圆承载装置，所述晶圆承载装置位于加工区域中，所述晶圆承载装置的两侧镜像分布有摆臂装置，所述摆臂装置的下端设置有角度调节装置，所述摆臂装置上设置有清洁装置，所述承载板位于晶圆承载装置的后侧设置有成对分布的喷洒设备，所述设备支架位于加工区域的外围分别设置有后挡板、两侧挡板、前挡板、顶板，所述前挡板与设备支架之间设置有开闭驱动装置，所述后挡板上设置有若干外...

【技术特征摘要】

1.适用于晶圆加工设备的模块化清洁设备，包括有设备支架，所述设备支架设置有底板，所述设备支架上设置有承载板，所述承载板的下方构成储物区域，所述承载板的上构成加工区域，其特征在于：所述储物区域中设置有角度切换装置，所述角度切换装置的上端设置有晶圆承载装置，所述晶圆承载装置位于加工区域中，所述晶圆承载装置的两侧镜像分布有摆臂装置，所述摆臂装置的下端设置有角度调节装置，所述摆臂装置上设置有清洁装置，所述承载板位于晶圆承载装置的后侧设置有成对分布的喷洒设备，所述设备支架位于加工区域的外围分别设置有后挡板、两侧挡板、前挡板、顶板，所述前挡板与设备支架之间设置有开闭驱动装置，所述后挡板上设置有若干外连接口，所述储物区域中设置有控制装置，所述控制装置分别与角度切换装置、角度调节装置、清洁装置、喷洒设备、开闭驱动装置的被控端相连。

2.根据权利要求1所述的适用于晶圆加工设备的模块化清洁设备，其特征在于：所述角度切换装置包括有与底板相连的限位支架，所述限位支架上设置有安装板，所述安装板的下端设置有驱动电机，所述驱动电机的工作端与晶圆承载装置相连。

3.根据权利要求1所述的适用于晶圆加工设备的模块化清洁设备，其特征在于：所述晶圆承载装置包括有衔接轴套，所述衔接轴套上设置有承载盘，所述承载盘上设置有两圈呈同心圆环排列的限位柱，分别构成6寸限位柱圈与8寸限位柱圈，构成6寸限位柱圈的限位柱的高度，低于构成8寸限位柱圈的限位柱的高度，所述限位柱上设置有接触嵌槽，所述接触嵌槽上套设有垫圈。

4.根据权利要求1所述的适用于晶圆加工设备的模块化清洁设备，其特征在于：所述摆臂装置包括有与角度调节装置相连的承载轴，所述承载轴上设置有摆臂本体，所述摆臂本体内设置有伺...

【专利技术属性】
技术研发人员：王铭志，韩之阳，
申请(专利权)人：先微精艺苏州科技有限公司，
类型：发明
国别省市：