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一种用于镀膜的独立自传系统、蒸镀设备及溅射镀膜设备技术方案
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下载一种用于镀膜的独立自传系统、蒸镀设备及溅射镀膜设备的技术资料
文档序号:43610023
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本技术涉及一种用于镀膜的独立自传系统、蒸镀设备及溅射镀膜设备,该独立自传系统包括框架体,框架体的第一相对框内侧壁设有多个第一通孔,框架体的第二相对框内侧壁设有多个第二通孔,第一通孔和第二通孔相对设置;框架体的至少部分区域设有腔室,与第一通孔...
该专利属于杭州灵犀微光科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州灵犀微光科技有限公司授权不得商用。
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